Plasmatechnologien für die Oberflächenmodifizierung und Schichtabscheidung sind industriell etabliert und viele Produkte der Halbleitertechnik, der Automobilindustrie, der Medizintechnik etc. sind ohne technologische Plasmaprozesse heutzutage nicht mehr vorstellbar.
Zur Gewährleistung der Prozesssicherheit beim Einsatz der Plasmatechnik ist eine spezifische Prozesskontrolle unerlässlich. Zur Optimierung und damit letztlich auch zur Kostenreduktion der Fertigungsprozesse ist eine ständige Weiterentwicklung der relevanten Diagnostiken erforderlich.
Dieser Thematik widmet sich der Workshop “Diagnostik von Prozessplasmen: Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen”.
Weitere Informationen finden Sie unter: https://efds.org/event/wsdiag3/